[Ư¡ÁÖ] ¿µÃ¢ÄɹÌÄ®, ¹ÝµµÃ¼ ÇÙ½É °øÁ¤¿ë ½Å¼ÒÀç 2Á¾ ¾ç»ê °³½Ã¿¡¡è

 
 
±â»ç°øÀ¯
  • īī¿ÀÅå °øÀ¯
  • īī¿ÀÅå °øÀ¯
  • ³×À̹ö ºí·Î±×
  • īī¿À½ºÅ丮
  • ÅÚ·¹±×·¥ °øÀ¯
  • url °øÀ¯
»çÁø=¿µÃ¢ÄɹÌÄ®
¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ±â¾÷ ¿µÃ¢ÄɹÌÄ®ÀÌ ¹ÝµµÃ¼ Çʼö °øÁ¤¿ë ½Å¼ÒÀç 2Á¾ÀÇ ½ÅÁ¦Ç° ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÇÑ´Ù´Â ¼Ò½Ä¿¡ °­¼¼´Ù.

27ÀÏ ¿ÀÀü 9½Ã39ºÐ ±âÁØ ¿µÃ¢ÄɹÌÄ®Àº Àü °Å·¡ÀÏ ´ëºñ 520¿ø(4.09%) ¿À¸¥ 1¸¸3220¿ø¿¡ °Å·¡µÇ°í ÀÖ´Ù.

ÅÖ½ºÅÙ ½½·¯¸®´Â ±Ý¼Ó°è¿­ ½½·¯¸®ÀÇ ÁÖ¿ä ¼ÒÀçÀÎ ±¸¸®(Cu)¿¡ ºñÇØ ¿¬¸¶µµ°¡ ¿ì¼öÇϰí Àüµµ¼ºÀÌ ¶Ù¾î³ª Â÷¼¼´ë ´ëüÁ¦·Î ÁÖ¸ñ ¹Þ°í ÀÖ´Ù. TSV ½½·¯¸®´Â ½Ç¸®ÄÜ °üÅëÀü±ØÀ̶ó°í ºÒ¸®´Â TSV(Through Silicon Via) °øÁ¤¿ë ¿¬¸¶Á¦ÀÌ´Ù. TSV °øÁ¤Àº ±âÁ¸ ¿ÍÀÌ¾î º»µùÀ» ´ëüÇÏ´Â ±â¼úÀÌ´Ù.

CMP(Chemical Mechanical Planarization) °øÁ¤Àº ¿þÀÌÆÛ ¹Ú¸·(Film)À» È­ÇÐÀûÀ¸·Î ¿¬¸¶ÇØ ÆòźȭÇÏ´Â °øÁ¤À¸·Î ¹ÝµµÃ¼ ¼öÀ²¿¡ °áÁ¤ÀûÀÎ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡´Â Çʼö °øÁ¤ÀÌ´Ù. °íÁýÀû ¹ÝµµÃ¼ »ý»êÀ» À§Çؼ­´Â ¼ö½Ê ¹øÀÇ CMP °øÁ¤ÀÌ ¹Ýµå½Ã ÇÊ¿äÇÏ¸ç ½½·¯¸®(Slurry)´Â CMP °øÁ¤ÀÇ ÇÙ½É ¼ÒÀç´Ù.

ȸ»ç °ü°èÀÚ´Â "2Á¾ÀÇ ½Å¼ÒÀç Á¦Ç°Àº CMP °øÁ¤¿ë ÅÖ½ºÅÙ ½½·¯¸®¿Í TSV ½½·¯¸®·Î ÇØ´ç Á¦Ç°±ºÀÇ ¾ç»êÀÌ ½ÃÀ۵Ǵ ¿ÃÇØ 1ºÐ±âºÎÅÍ ¹Ù·Î ¸ÅÃâÀÌ ¹ß»ýÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÅ ³ôÀº ¸ÅÃâ ¼ºÀåÀÌ ±â´ëµÈ´Ù"°í ¹àÇû´Ù.


 

¾È¼­Áø
¾È¼­Áø seojin0721@mt.co.kr

¸Ó´ÏS Áõ±ÇÆÀ ¾È¼­Áø ±âÀÚÀÔ´Ï´Ù. ÀÖ´Â ±×´ë·Î ÀüÇϰڽÀ´Ï´Ù.

ÀÌ ±âÀÚÀÇ ´Ù¸¥±â»ç º¸±â >
  • 0%
  • 0%
  • ÄÚ½ºÇÇ : 2476.86»ó½Â 23.718:05 03/31
  • ÄÚ½º´Ú : 847.52Ç϶ô 2.9618:05 03/31
  • ¿ø´Þ·¯ : 1301.90»ó½Â 2.918:05 03/31
  • µÎ¹ÙÀÌÀ¯ : 77.78Ç϶ô 0.2618:05 03/31
  • ±Ý : 1986.20Ç϶ô 11.518:05 03/31
  • [¸Ó´ÏSÆ÷Åä] ±ÝÀ¶À§¿øÀå?±Ý°¨¿øÀå, 5´ë ÁöÁÖȸÀå°ú ¸¸³ª¡¦
  • [¸Ó´ÏSÆ÷Åä] ¹Úº¸°Ë¡¤¸®»ç¡¤ºß, MZ¼¼´ë ÇÖ ¾ÆÀÌÄÜ ÇÑÀÚ¸®¿¡¡¦
  • [¸Ó´ÏSÆ÷Åä] ±¹³» ÃÖ´ë ¸ðÅͼî '¼­¿ï¸ðºô¸®Æ¼¼î'¡¦2³â¸¸¿¡ Àç
  • [¸Ó´ÏSÆ÷Åä] ¿ª´ë ÃÖ´ë... 163°³ ±â¾÷ Âü¿© '2023 ¼­¿ï¸ðºô¸®Æ¼¼î'
  • [¸Ó´ÏSÆ÷Åä] ±ÝÀ¶À§¿øÀå?±Ý°¨¿øÀå, 5´ë ÁöÁÖȸÀå°ú ¸¸³ª¡¦

Ä®·³

[ÇコS] °íÇ÷¾Ð¡¤°íÁöÇ÷ ÇÇÇÏ°í ½Í´Ù¸é¡¦
[ÇコS] °íÇ÷¾Ð¡¤°íÁöÇ÷ ÇÇÇÏ°í ½Í´Ù¸é¡¦ "´çÀå ±Ý¿¬Çϼ¼¿ä" ÇÏ·ç¿¡ ÇÑ °©¾¿ 20³â µ¿¾È ¸ÅÀÏ Èí¿¬ÇÑ »ç¶÷ÀÌ ºñÈí¿¬ÀÚ¿¡ ºñÇØ ´ë»çÁõÈıº ¹ßº´ À§ÇèÀÌ ¾à 1.7¹è ³ô´Ù´Â ¿¬±¸ °á°ú°¡ ³ª¿Ô´Ù. ÇÏ·ç Èí¿¬ °³ºñ ¼ö°¡ ¸¹°í Æò»ý Èí¿¬·®ÀÌ ¸¹À»¼ö·Ï ´ë»çÁõÈıº ¹ßº´ À§ÇèÀÌ Á¡Â÷ Áõ°¡Çß´Ù. ´ë»çÁõÈıºÀº °íÇ÷¾Ð°ú °íÁöÇ÷Áõ, ºñ¸¸ µî ¿©·¯ °¡Áö ÁúȯÀÌ µ¿½Ã¿¡ ³ªÅ¸³ª´Â °ÍÀ» °¡¸®Å²´Ù.31ÀÏ ¿¬¼¼´ëÇб³ °­³²¼¼ºê¶õ½ºº´¿ø¿¡ µû¸£¸é µ¿¿ø ÀÌ¿ëÁ¦ °¡Á¤ÀÇÇаú ±³¼ö¡¤±è¾ÖÈñ °­»ç´Â "Èí¿¬ÀÌ ´ë»çÁõÈıº ¹ßº´¿¡ ¹ÌÄ¡´Â ¿µÇâ" ¿¬±¸¸¦ ÃÖ±Ù ¹Ì±¹ ÀÓ»ó ³»ºÐºñÇÐȸ Àú³Î¿¡ °ÔÀçÇß´Ù. ¿¬±¸ÆÀÀº Èí¿¬°ú ´ë»çÁõÈıº ¹ßº´ÀÇ ¿¬°ü¼º°ú À§Çè Á¤µµ¸¦ ÆÄ¾ÇÇϱâ À§ÇØ 2001~2014³â 40~69¼¼ Çѱ¹ ³²¼º 3151¸íÀ» ´ë»óÀ¸·Î ÇÏ·ç Èí¿¬·®°ú Æò»ý Èí¿¬·®À¸·Î ¼¼ºÐÈ­ÇØ ´ë»çÁõÈıºÀÇ ¹ßº´ À§Çèµµ¸¦ Á¶»çÇß´Ù. ÇÏ·ç Èí¿¬·®Àº ÇÏ·ç¿¡ ÇÇ¿ì´Â ´ã¹è °³ºñ ¼ö, Æò»ý Èí¿¬·®Àº ÇÏ·ç Èí¿¬ °³ºñ ¼ö¿Í ÃÑ Èí¿¬ ³â ¼ö¸¦ °öÇÑ °©³âÀ¸·Î °è»êÇß´Ù.ÇÏ·ç Èí¿¬·®ÀÎ °³ºñ¸¦ ±âÁØÀ¸·Î ÇÒ ¶§ 0~9°³ºñ Èí¿¬ÀÚ´Â 1.50¹è,..

Ä¿¹ö½ºÅ丮

Á¤±â±¸µ¶½Åû µ¶ÀÚÀǰß